第170章 二代半光刻机

赵烨和慈教授，再一次蹲在了八号实验室的地下车间，就跟几年前差不多的一个情景。

看着满地的零部件，慈教授一阵牙疼。

赵烨这一次真的是一反常态，说是要升级光刻机，可是，既没有升级的技术路线资料...